超純水在微(wei)電子制造業中起(qi)著關重(zhong)要(yao)的作用。以下是一些(xie)主要(yao)的應用：

1. 清洗(xi)(xi)劑：在(zai)半導(dao)體(ti)的(de)(de)生產過程中，需要使用超(chao)純水進行(xing)各(ge)種清洗(xi)(xi)，去除硅片(pian)上的(de)(de)塵埃、有機物(wu)和離(li)子(zi)雜，保證(zheng)產品的(de)(de)高質量。

2. 制程介(jie)質：超純水也被用作制程介(jie)質，濕氧(yang)化、腐蝕、電鍍等過(guo)程中，都需要使用超純水。

3. 溶(rong)劑：在光刻(ke)(ke)程中，超純水被用作光刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)的溶(rong)劑，可(ke)以(yi)保證(zheng)光刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)的均(jun)勻性和穩定。

4. 冷卻劑：在設備運行過程中，超純(chun)水還可以(yi)作(zuo)為冷卻劑，用于散熱

由于超純(chun)水的純(chun)度極(ji)高(gao)(gao)，不(bu)含(han)任何離(li)子、有機物(wu)和微(wei)生物(wu)，因此(ci)能夠保證微(wei)電子制(zhi)造過程的高(gao)(gao)精度和高(gao)(gao)穩定性(xing)(xing)，提高(gao)(gao)產品的性(xing)(xing)能和良品率。此(ci)外，超純(chun)水設(she)備自身也具有自動化程度高(gao)(gao)、能耗低、運行穩定等優點，因此(ci)在微(wei)電子制(zhi)造業中得(de)到了廣(guang)泛的應用(yong)。