超純水在微(wei)電子(zi)制造(zao)業中起著關重要(yao)(yao)的作用。以下是一(yi)些主要(yao)(yao)的應用：

1. 清(qing)洗劑：在半(ban)導體的(de)生產過程中，需要使用(yong)超純水(shui)進行(xing)各種(zhong)清(qing)洗，去除硅片上的(de)塵埃(ai)、有機物(wu)和(he)離子雜，保證產品的(de)高質量(liang)。

2. 制(zhi)程(cheng)介質(zhi)：超(chao)純水(shui)也被用作制(zhi)程(cheng)介質(zhi)，濕氧化、腐蝕、電(dian)鍍等(deng)過程(cheng)中(zhong)，都需要(yao)使(shi)用超(chao)純水(shui)。

3. 溶(rong)劑(ji)：在光(guang)刻程(cheng)中，超(chao)純水被用(yong)作光(guang)刻膠的(de)溶(rong)劑(ji)，可以保證光(guang)刻膠的(de)均勻性和穩定。

4. 冷卻劑：在(zai)設備運(yun)行過程中，超純水還可(ke)以作為(wei)冷卻劑，用(yong)于散熱

由于超純水(shui)的(de)純度(du)極高(gao)，不含任何離(li)子(zi)、有機物和微生物，因(yin)此能夠(gou)保證微電(dian)子(zi)制(zhi)造過程的(de)高(gao)精度(du)和高(gao)穩定性，提高(gao)產品(pin)的(de)性能和良品(pin)率。此外，超純水(shui)設備自身(shen)也具有自動化程度(du)高(gao)、能耗低、運行(xing)穩定等優點，因(yin)此在微電(dian)子(zi)制(zhi)造業中得到(dao)了廣泛的(de)應用(yong)。