超純(chun)水(shui)在微(wei)電子制造業中起著(zhu)關(guan)重要的作用。以下是一些主要的應用：

1. 清(qing)洗(xi)劑：在(zai)半導(dao)體的生產過程中，需要使用超(chao)純水進行各種清(qing)洗(xi)，去除硅(gui)片上的塵埃、有(you)機物和(he)離子雜，保證產品(pin)的高質量。

2. 制程(cheng)(cheng)介(jie)質(zhi)：超(chao)純水也(ye)被用(yong)作制程(cheng)(cheng)介(jie)質(zhi)，濕氧化、腐蝕、電鍍等過程(cheng)(cheng)中(zhong)，都需要使用(yong)超(chao)純水。

3. 溶劑：在光刻程(cheng)中，超純水被用作光刻膠(jiao)的溶劑，可(ke)以保證光刻膠(jiao)的均勻性和穩(wen)定。

4. 冷(leng)卻劑：在設備(bei)運(yun)行(xing)過程中，超(chao)純水還可以作(zuo)為冷(leng)卻劑，用(yong)于散(san)熱

由于超(chao)純(chun)水的純(chun)度(du)極高(gao)(gao)，不含任何離(li)子、有機物和微生(sheng)物，因此(ci)能夠保(bao)證微電子制造(zao)過(guo)程的高(gao)(gao)精度(du)和高(gao)(gao)穩定性(xing)，提高(gao)(gao)產品的性(xing)能和良品率。此(ci)外，超(chao)純(chun)水設備(bei)自身也具有自動(dong)化程度(du)高(gao)(gao)、能耗低、運行(xing)穩定等優點，因此(ci)在微電子制造(zao)業(ye)中得到了廣泛的應用。