超純水在微電子(zi)制造業(ye)中起(qi)著(zhu)關重要的(de)作用(yong)。以(yi)下是一些主要的(de)應用(yong)：

1. 清(qing)洗(xi)劑：在半導體的(de)生產(chan)過程中，需要(yao)使用超(chao)純水進(jin)行各種清(qing)洗(xi)，去除硅片上的(de)塵(chen)埃、有機物和離子(zi)雜(za)，保證產(chan)品的(de)高質量(liang)。

2. 制程介質(zhi)：超(chao)純水也被用(yong)作制程介質(zhi)，濕氧化、腐蝕、電鍍等過(guo)程中，都需要使(shi)用(yong)超(chao)純水。

3. 溶(rong)劑(ji)：在光刻(ke)程中，超純水被用作光刻(ke)膠(jiao)的溶(rong)劑(ji)，可(ke)以(yi)保證(zheng)光刻(ke)膠(jiao)的均勻性和(he)穩定。

4. 冷卻劑(ji)：在設(she)備運行過程中，超純水(shui)還可以作(zuo)為(wei)冷卻劑(ji)，用于散(san)熱

由于(yu)超(chao)純水的(de)純度極(ji)高(gao)(gao)，不(bu)含任何離(li)子(zi)(zi)、有(you)機物(wu)和(he)(he)微生物(wu)，因此(ci)能夠保證(zheng)微電子(zi)(zi)制造過程的(de)高(gao)(gao)精(jing)度和(he)(he)高(gao)(gao)穩定(ding)性，提高(gao)(gao)產(chan)品的(de)性能和(he)(he)良(liang)品率。此(ci)外，超(chao)純水設備(bei)自身也具(ju)有(you)自動化(hua)程度高(gao)(gao)、能耗低、運行(xing)穩定(ding)等優點(dian)，因此(ci)在微電子(zi)(zi)制造業中得到了廣(guang)泛的(de)應用(yong)。