超純水設備的維護和故障排除保證其正常運行和延長設備使用壽命的重要環節。以下是一些主要的維護和故障排除步驟：

1. 維護：

   - 定期查：應定期檢查超純水設備的各項參數，如流、壓力、電阻率等，確保其在正常范圍內。

   - 清潔和更換：對于關鍵部件，如反滲透膜、混床樹脂等，需要定期清潔和更換，防止其堵塞或失效。

   - 消毒：定期進行設備的消毒，以防止微生物污染。

   - 按照操作規程：設備的操作和維護應嚴格按照設備使用手進行，不要隨意改變設備的設置。

2. 故障排除：

   - 找出問題：如果設備出現異常，首先應找出問題的原因，可能是原水質量問題、設備問題或者操作問題。

   - 原水質量：對于原水質量問題，可以通過優化預處理系統來解決，以提升原水質量。

   - 設備問題：設備問題可能需要修理或更換故障部件，以恢復設備的性能。

   - 操作問題：如果是操作問題，可能需要對操作人員進行再培訓，提高他們的操作技能。

具體的維護和故障排除步驟可能會因設備型號和使用環境的不同而有所差異。