超純水設備的性能受多種因素響，以下是一些關鍵因素：

1. 原水質量：原水中的雜質含量、硬度、PH、微生物數量等都會影響超純水設備的處理效果和設備壽命。

2. 設備：包括預處理系統、反滲透膜、混床樹脂、紫外殺菌器等的性能和配置都會影響超純水設備的輸出水質和處理效率。

3. 運行參數：如水溫、進水壓力、反滲透系統的回收率、混床的再生頻率等運行參數的控制也會影響設備性能。

4. 維護保養：定期清洗和更換關鍵部件，如反滲透膜、混床樹脂等，以及定期對設備進行維護和保養，可以保持設備的最佳運行狀態。

5. 使用環境：設備的使用環境，包括溫度、濕度、電源穩定性等，也會影響設備的性能和壽命。

6. 操作人員的技術水平：操作人員對設備性能的理解，以及對異常情況的處理能力，也會影響設備的運行效果。

總之，要保持超純水設備的高性能，需要從多個方面進行考慮和管理。