超純水在微電子制造業中起著關重要的作用。以下是一些主要的應用：
1. 清洗劑：在半導體的生產過程中，需要使用超純水進行各種清洗，去除硅片上的塵埃、有機物和離子雜，保證產品的高質量。
2. 制程介質：超純水也被用作制程介質，濕氧化、腐蝕、電鍍等過程中，都需要使用超純水。
3. 溶劑：在光刻程中，超純水被用作光刻膠的溶劑，可以保證光刻膠的均勻性和穩定。
4. 冷卻劑：在設備運行過程中，超純水還可以作為冷卻劑，用于散熱
由于超純水的純度極高，不含任何離子、有機物和微生物，因此能夠保證微電子制造過程的高精度和高穩定性，提高產品的性能和良品率。此外，超純水設備自身也具有自動化程度高、能耗低、運行穩定等優點，因此在微電子制造業中得到了廣泛的應用。
