超(chao)純水(shui)在微電(dian)子(zi)制(zhi)造業中起著(zhu)關重要的作用。以下(xia)是(shi)一(yi)些(xie)主要的應用：

1. 清洗(xi)劑：在(zai)半導體的(de)生產過程中，需要使(shi)用超純水進行各(ge)種清洗(xi)，去除硅片上的(de)塵埃、有機物(wu)和離子(zi)雜，保證(zheng)產品(pin)的(de)高質量。

2. 制程(cheng)介(jie)質：超(chao)純(chun)水也被用作(zuo)制程(cheng)介(jie)質，濕氧(yang)化、腐(fu)蝕、電鍍等過程(cheng)中，都需(xu)要使(shi)用超(chao)純(chun)水。

3. 溶劑：在光(guang)刻程中，超純水被用作光(guang)刻膠(jiao)(jiao)的溶劑，可(ke)以保證光(guang)刻膠(jiao)(jiao)的均勻性和穩定。

4. 冷卻劑：在設備運行過程中，超純水還可(ke)以作為冷卻劑，用(yong)于(yu)散熱

由(you)于超(chao)純水的(de)純度(du)(du)極高(gao)(gao)，不(bu)含任何離子(zi)(zi)、有機物和(he)微(wei)(wei)生物，因此(ci)能夠保證微(wei)(wei)電(dian)子(zi)(zi)制(zhi)造(zao)過程的(de)高(gao)(gao)精(jing)度(du)(du)和(he)高(gao)(gao)穩(wen)定性，提高(gao)(gao)產(chan)品的(de)性能和(he)良品率(lv)。此(ci)外，超(chao)純水設備自(zi)身也具有自(zi)動(dong)化程度(du)(du)高(gao)(gao)、能耗低、運行穩(wen)定等優點，因此(ci)在微(wei)(wei)電(dian)子(zi)(zi)制(zhi)造(zao)業中得到(dao)了廣泛的(de)應用。