采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體均去除至很低程度的水處理設備。

應用范圍：

1、電子、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。

2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。

3、單/多晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線柜架、 液晶顯示器、導電玻璃、電池（蓄電池）、顯像管、線路板、潔凈產品及各種元器件等生產工藝用純水。