超純水在微(wei)電子制造業中起著關重要的(de)作(zuo)用。以下是一些主(zhu)要的(de)應用：

1. 清(qing)洗劑：在半導體(ti)的生(sheng)產(chan)過程中，需要使用超純水進(jin)行各種清(qing)洗，去除硅片(pian)上的塵埃、有(you)機(ji)物(wu)和(he)離子(zi)雜(za)，保(bao)證(zheng)產(chan)品的高(gao)質量。

2. 制程(cheng)介質(zhi)：超純水也被用(yong)(yong)作(zuo)制程(cheng)介質(zhi)，濕氧化、腐(fu)蝕、電鍍等過程(cheng)中，都(dou)需要使用(yong)(yong)超純水。

3. 溶劑(ji)：在光刻(ke)程中，超(chao)純水被用作(zuo)光刻(ke)膠(jiao)的溶劑(ji)，可以保證光刻(ke)膠(jiao)的均勻性和穩(wen)定。

4. 冷卻(que)(que)劑(ji)：在設(she)備運行過程中，超純水還(huan)可以作為(wei)冷卻(que)(que)劑(ji)，用于散熱

由(you)于超純(chun)水的(de)純(chun)度(du)極高(gao)(gao)，不含任何離子、有(you)(you)機(ji)物和(he)微生物，因此(ci)(ci)能(neng)夠保(bao)證微電子制(zhi)造過(guo)程的(de)高(gao)(gao)精度(du)和(he)高(gao)(gao)穩(wen)定性，提高(gao)(gao)產品的(de)性能(neng)和(he)良品率(lv)。此(ci)(ci)外，超純(chun)水設備自身也具(ju)有(you)(you)自動化程度(du)高(gao)(gao)、能(neng)耗低、運行穩(wen)定等優點，因此(ci)(ci)在微電子制(zhi)造業中得到了廣泛的(de)應用。