超純水設備是反滲透設備跟離子交換混床或EDI相結合配套使用，離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰，陽離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當離子通過離子交換柱時，水中的陽離子和陰離子（HCO?﹣等離子）與交換柱中的陽樹脂的H﹢離子和陰樹脂的OH﹣離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求。